EFFECT OF SUBSTRATE-RF ON SUB-200 NM AL0.7SC0.3N THIN FILMS

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Sc-doped aluminum nitride is emerging as a new piezoelectric material which can substitute undoped aluminum nitride (AlN) in radio-frequency MEMS applications, thanks to its demonstrated enhancement of the piezoelectric coefficients.Furthermore, the recent demonstration of the ferroelectric-switching capability of the material CABINET gives AlScN t

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La literatura científica sobre el Aprendizaje Basado en Problemas (ABP) ha dedicado una atención creciente a la cuestión del pensamiento crítico a lo largo de las dos últimas décadas.Los trabajos de investigación que se han llevado a cabo en Art los distintos contextos disciplinares de la educación superior presentan definiciones e instrume

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